Aerotech 精密气浮转台

Aerotech 精密转台、气浮转台

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ABRT-400空气轴承精密直驱转台 | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密气浮直驱转台

ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400 是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。

ABRT-400 可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。

Rotary Stage | ABRT-400精密气浮直驱转台

特点规格

● 精度： < 0.6微弧度（ < 0.12弧秒）

● 增量步距： 0.035微弧度（ 0.007弧秒）

● 重复性： < 0.4微弧度（ < 0.08弧秒）

● 轴向运动误差： < 50纳米同步; < 10纳米异步

● 径向运动误差： < 75纳米同步; < 10纳米异步

空气轴承旋转主轴

ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。

ABRT-400可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质结晶或高精度加工应用。

ABRS系列空气轴承精密直驱转台 | ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRS系列精密气浮直驱转台

Aerotech 的 ABRS 系列旋转空气轴承平台提供卓越的角度定位，速度稳定性和低运动误差性能在一个非常低矮的封装结构中。ABRS旨在满足晶片检查，高精度计量，X射线衍射系统，光学检查和制造，以及微机电系统/纳米器件的制造等应用的严苛要求。

Aerotech ABRS系列空气轴承精密直驱转台提供出色的角度定位，速度稳定性和无误差运动性能，并且拥有非常低矮的外形。

● 直驱无刷无槽伺服电机

● 非机械接触

● 零齿槽效应电机带来显著的速度稳定性

● 显著的无误差无抖动运动特性

● 直接耦合的高精度编码器

● 扁平设计的低矮外形

● 直径：128.1-278.1 mm

● 分辨率： 0.036-0.18 arc-sec

● 双向重复性：< 1 arc-sec

● 定位精度：±2 arc-sec

ARA1000空气轴承精密直驱转台 | ARA1000 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ARA1000精密气浮转台

Aerotech 的 ARA1000 旋转执行器代表了显著的突破性应用，如平板显示器处理加工所要求的大型有效载荷的联接方式。高负载惯量多轴系统可能遭受机械不稳定，限制整机生产效率。ARA1000 通过设计，显著提高了平台刚性，消除了这个问题。ARA1000转台采用了标准的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿过真空线路。台面包括一个标准的安装模式，其允许非常容易地进行卡盘安装。

● 高承载能力

● 高刚性

● 直接驱动无刷无槽伺服电机

● 大孔径

● 与AVL1000升降平台轻松配置多轴应用

ABRS旋转气浮平台

1为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计

2无刷无槽伺服电机直接驱动

3突出的速度稳定性（电机无接头效应）

4卓越的运动性能,误差小,无抖动

5直联高精度旋转编码器

6扁平结构设计

7无机械接触

台面直径128.1-278.1mm

分辨率0.18-0.036arcsec

双向重复定位精度<1arcsec 

ABRT旋转气浮平台

2无刷无槽伺服电机直接驱动，高扭拒输出

6超大的空心轴径，无机械接触

台面直径100-200mm

分辨率0.055-0.027arcsec

双向重复定位精度<1arcsec